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日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵串行通信TG50F北崎熱賣

更新時間：2025-11-26      瀏覽次數：122

TG50F


  • 任何方向

  • 緊湊尺寸

  • 節能

  • 快速啟動

  • 用燃氣排氣快速關閉

  • 用于沖擊氣流的堅固結構

  • 串行通信

※RS232C 串行接口

TG50F

應用

  • 半導體生產

  • 電子槍排氣，電離源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改性

  • 各種電子元件的制造

  • 分析與測試設備

  • 燈具生產，光學元件生產

  • 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究與開發

*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。

型TG50F
進氣法蘭VG65/ISO-R63/CF63
流量N2（L/s）51
N2（帶防護
屏障）（L/s）		49
H2（L/s）12
壓縮比N21.4×107
H25×102
基壓VG?ISO-R/CF（賓夕法尼亞州）<3×10-6
VG?ISO-R/CF（托爾）<2.3×10-8
吞吐量※1N2（SCCM）80
啟動時間（分鐘）1-1.5
停工時間（分鐘）1-1.5
背壓（帕/托爾）1330/10
推薦的倒吸真空泵（L/min）≧50
位置任何方向
重量VG?ISO-R/CF（kg）4.2/6
控制器TC64

*1：使用100升/分鐘的備份真空泵時。

[環境溫度使用]

確保達到最終壓力的環境溫度范圍為10-23°C。允許的環境溫度為空氣冷卻類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。確保最終壓力的冷卻水溫度為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。



電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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