日本大阪真空OSAKA渦輪分子TG220F用于熱處理北崎熱賣

更新時間：2025-11-26

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TG220F

■ 任何方向

■ 緊湊尺寸

■ 節能

■ 快速啟動

■ 快速關閉并用煤氣排氣

■ 耐久結構以適應沖入空氣
※沖入測試（連續400次）

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 認證安全標準NRTL / SEMI-S2 / CE

TG220F

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣，電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理，表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、測試設備

■ 燈具生產，光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研發
*如果消耗腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M或TG系列。

規格
尺寸
性能曲線
控制器

進氣法蘭		VG100 ISO-R100 CF100
流量	N2（L/s）	220
	N2（帶防護屏障）（L/s）	210
	H2（L/s）	100
最大壓縮比	N2	1×108
最大壓縮比	H2	4×102
基壓	（賓夕法尼亞州）（托爾）	<1×10-6 <7.5×10-9
最大吞吐量※1	（SCCM）	400
啟動時間	（分鐘）	1-1.2
停工時間	（分鐘）	2.5-3.5
最大背壓	（帕/托爾）	260/2
推薦的倒吸真空泵	（L/min）	≧80
位置		任何方向
重量	VG?ISO-R/CF（kg）	5.5/8
控制器		TC223

*1：使用160L/min的后備真空泵時。
[使用環境溫度]
確保達到最終壓力的環境溫度范圍為10-23°C。允許的環境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
某些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。

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