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日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵TG350F用于分析與測試設(shè)備北崎熱賣

更新時間：2025-11-26      瀏覽次數(shù)：136

TG350F

  • 任何方向

  • 緊湊尺寸

  • 節(jié)能

  • 快速啟動

  • 用燃氣排氣快速關(guān)閉

  • 用于沖擊氣流的堅固結(jié)構(gòu)

  • 串行通信
    （RS232C 串行接口）

  • 認證安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL / SEMI-S2 / CE

  • TG350F

應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)

  • 電子槍排氣，電離源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改性

  • 各種電子元件的制造

  • 分析與測試設(shè)備

  • 燈具生產(chǎn)，光學(xué)元件生產(chǎn)

  • 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究與開發(fā)

*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。


進氣法蘭VG100
ISO-R100
CF100
流量VG/ISO-R·CF N2（L/s）350/330
VG/ISO-R·CF N2
（帶防護屏障）
（L/s）		330/310
VG/ISO-R·CF H2（L/s）210/210
壓縮
比		N21×108
H22×103
基壓（帕/托爾）<1×10-6/<7.5×10-9
吞吐量※1（SCCM）500
啟動時間（分鐘）2-2.5
停工時間（分鐘）5-6.5
背
壓		（帕/托爾）260/2
推薦
的倒吸
真空泵		（L/min）≧80
位置任何方向
重量VG?ISO-R/CF（kg）6/9
控制器TC353

*1：使用160升/分鐘的后備真空泵時。

[環(huán)境溫度使用]

確保達到壓力的環(huán)境溫度范圍是10-23°C。允許的環(huán)境溫度為風(fēng)冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。

[對應(yīng)氣體]

一些服務(wù)氣體會腐蝕潤滑脂和內(nèi)部部件。請聯(lián)系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。



電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號樓406B

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